BC Series
BCシリーズは、キャリアガスを導入し、内蔵タンクにてバブリングすることで各種液体材料を気化供給する装置です。
特長
- キャリアガスをマスフローコントローラで制御し、その後に加熱器で加温制御しているため、液体材料の安定供給が可能
- 供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、気化ガスを安定供給
- 各種ユーテリティに接続するだけで手軽にバブリング供給が可能なオールインワン設計
- 液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能
- メンテナンスを考えたクリーンな構造
用途
低濃度液化ガスの長期的な供給に優れているため、MOCVDの原料ガス供給方法として採用されます。また、気化部の構造がシンプルなため、液種に応じた機器の変更が不要です。そのため、供給量の精度を求めないが、様々な液体材料を気化したい実験などに使用されます。