会社情報

混合ガスの供給方法にはガスメーカーから購入する混合ガスボンベから供給する方法と、2種類以上の原料ガスから混合ガスを合成する方法がありますが、後者の装置がガス混合装置です。...

液体、気体マスフローコントローラ・気化器・ガス加熱器などの流体制御機器メーカーとして、ガスパネルから流体供給キャビネットまでカスタム対応致します。液体気化供給装置...

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ガスマスフローコントローラMC-10シリーズLN0481J2207C0_取扱説明書MC-10標準仕様ダウンロードLN04...

流体を瞬時に加熱する高効率の小型加熱制御器HXシリーズ。小型ガス加熱換器の特徴様々な流体加熱確実なガス加熱マスフローコントローラ後段のガス加...

半導体業界でTEOSの安定的な連続気化供給システムが求められた1990年代、リンテックは気化器と液体マスフローを使った直接気化方式を世界に先駆けて開発しました。液体気化技...

LINTECを知る流体制御のパイオニアLINTECは半導体製造技術と共に気体・液体の流量制御、液体気化、加熱技術で成長を続ける日本企業です。...

マスフローコントローラとはマスフローコントローラ（mass flow controller）は、質量流量を測定し、設定した流量に自動的に制御する流量制御機器です。流体の測...

リンテックは「社員全員の人生が健康で健やかである事が大切」との考えから、社員全員の健康を促進するために「健康経営優良法人」を取得し、常に職場環境の改善に努めています。※健康経営は...

ガス混合装置は、異なる2種類以上のガスを一定の比率で混合するための装置です。産業、研究、実験などさまざまな分野で使用されています。以下では、ガス混合装置の基本的な仕組みと種類につ...

流量・流体制御機器メーカとして、ガスパネルから流体供給キャビネットまでカスタム対応致します。液体気化供給装置気化供給装置（気化器）MFMと気化...

応答時間200msecの超高速マスフローコントローラ。サーマルセンサで100msec(typical)の高速流量制御を実現。リンテック独自の非接触式、熱式流量センサと...

微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケ...

ピエゾバルブを搭載した微小流量小型液体気化器。高速、高精度での微小流量制御が可能なピエゾアクチュエータを気化室直近に搭載。デッドボリュームの少ない構造。TEO...

液体マスフローメータで液体の質量流量を測定、後段の気化器で全量気化させる方式。 直接気化方式の基本原理気化器直接気化方式フロー液体マスフローメータ...

マスフローコントローラを使用するに当たり、必要な電源・流量設定・流量出力の表示を1台で行え、スタンドアローンで流量制御が可能な機器です。F.S.に応じて表示値を変更で...

Lintecのガス流量制御・測定製品マスフローコントローラ特長型式通信規格電源温度応答速度精度用途キーワード高速 MFCMC-7000DeviceNetEther...

LVS SeriesLVS シリーズは、液体マスフローコントローラと気化器を使用した液体気化供給器をコンパクトにまとめ、流体計測制御機器メーカーとして液体...

最高加熱200℃でコンパクトな小型ガス加熱。特長面間160㎜×幅55㎜のコンパクト設計N2ガス10SLMを200℃に加熱接ガス部材（SUS3...

1987年10月　・滋賀県野洲郡中主町に於いて資本金3,400万円にて設立、創業 　・東京営業所を開設　・代表取締役　小野弘文　就任 1988年1月　 　マスフローメー...

コントローラとメーターの違いマスフローコントローラ、マスフローメーターは両者とも「マスフロー」と省略される場合がありますが、質量流量センサーを搭載して流量出力をする...

マスフローコントローラの使い方を教えてください。マスフローコントローラを使用する際には、以下の手順に従います。配管の接続を行います。リークチェックを行い...

液体容器を加熱し、ガス化した液化ガスを高温ガスマスフローコントローラで流量制御する方式。MFCベーキング方式原理MFCベーキング方式フロー図液体タ...

液体マスフローコントローラー原理液体マスフローコントローラーは液体質量流量の自動制御機器で、液体マスフローメーターは液体質量流量を測定する機器です。マスフローコン...

液体ノズルとキャリアガスノズルの二流体ノズルによる高効率気化器。液体ノズルとキャリアガスノズル（0.05~4SLM）の二流体ノズルが気化室直前で合流し液体を微細に噴霧...

マスフローとはどういう意味ですか？マスフローの略称マスフロー（Mass flow）は、質量流量という意味ですが、一般的にはマスフローコントローラ（Mass Flo...

Max300℃でコンパクトな高温熱交換器。特長面間169㎜×幅177㎜のコンパクト設計N2ガス20SLMを300℃に加熱可能高温ガス加熱は固...

SVC Series SVCシリーズは、内蔵タンク加熱し、気化したガスを高温用マスフローコントローラで流量制御し、液ガスを供給する装置です。流体計測制御...

マスフローコントローラ、マスフローメータの動作に必要な±15V電源を最大9台まで供給できるマスフローコントローラ専用電源です。供給電源はAC85～240Vと幅広い電圧...

EtherCAT通信用高性能マスフローコントローラ。半導体プロセス向け高性能マスフローコントローラEtherCAT通信版。SEMIに準拠しており、半導体製造装置の搬送...

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株式会社リンテック は、創業以来、流体計測制御機器に注力した事業展開を行っています。 我々の基本的な方針は、以下の３項目です。 独創チャレンジ誠...

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流量とは流量はその単位時間あたりに移動する流体の量。移動量÷時間＝流量で表され、マスフローコントローラーの単位時間は1分間（/min）で表現されます。移動量の単位は質量と...

リンテック製品(マスフローコントローラ、気化器、熱交換器）をご使用いただくにあたって必要な各種アクセサリと当社製品の接続例です。画像をクリックしていただくと製品ページへ...

液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化し...

液体タンク内にキャリアガスを流し、気化した液化ガスをキャリアガスと一緒に運ぶ方式です。バブリング方式原理バブリング方式フロー図液化ガスの濃度は計算...

二流体ノズルの高効率気化と大型の気化室による大流量、高効率な気化器。 液体ノズルとキャリアガスノズル（0.8~180SLM）の二流体ノズルによる高効率気化。VU-43...

BC SeriesBCシリーズは、キャリアガスを導入し、内蔵タンクにてバブリングすることで各種液体材料を気化供給する装置です。特長キ...

点検校正や修理をご希望されるお客様向けに、簡単な手続きをご案内しております。修理依頼をご希望の方は、以下の手順に従ってください。「修理依頼票」をダウンロード: Exce...

MFCとの設定電圧、出力電圧等の電圧状態の確認が行えるマスフローコントローラ専用の動作チェック機器です。また、低消費電力の電圧計が内蔵されており、装置からの信号、MF...

リンテックは、「独創」「チャレンジ」「誠意」の経営理念のもと法令遵守を基盤におき、社会に高品質の製品やサービスを提供することにより、持続可能な社会の発展に貢献し、企業価値を高...

50SLMのN2を200℃に加熱可能な小型熱交換器。特長HX-0050A面間158㎜×幅80㎜×高さ80㎜のコンパクト設計最大流量50SLM...

DeviceNet通信対応マスフローコントローラ。最新の半導体製造装置搭載の制御機器は、アナログ制御ではなく、高速制御や配線の簡素化を目的にオープンフィールドワークで...

マスフローコントローラーは様々な流体の質量流量を制御します。熱容量を利用して計測する熱式マスフローでは、流体の種類が変わると温まりやすさ（比熱）が変わる為、流体固有の係数で補正す...

100SLMのN2を300℃に加熱可能な高温熱交換器。特長HX-0100C最大流量100SLM（N2換算）最高使用温度300℃接ガス部...

マスフローコントローラーは質量流量をセンサで測定し、CPUで処理されPID制御でコントロールバルブのバルブ開度を調節する流量制御器です。質量流量センサ原理流体を加...

±1%S.P.保証を実現した高性能デジタルマスフローコントローラ。リンテック独自の周囲温度補償式センサにより低温でも高精度の流量測定を実現。センサへの熱による経年劣化...

高効率の二流体ノズル気化器構造を採用し気化室を拡大、気化出口を改良する事で未気化排出を抑えた最新モデル。VU-450より気化室容積を大型にする事で対流時間と熱交換面...

LSS SeriesLSSシリーズは、内蔵タンクから複数タンクへ自動で液体を供給する装置です。特長複数ラインへ同時供給または個別供給...

気化器（VU Series）や熱交換器（HX Series）、その他供給タンクや配管ヒータ等を電子温度調節器とSSRを用いて温度制御を行う機器です。異常昇温を感知する...

最高使用温度300℃の高温効率気化器。液体ノズルとキャリアガスノズル（0.8~180SLM）の二流体ノズルによる高効率気化器。 メタルシールと耐熱構造により最...

弊社は海外に代理店・サービス拠点を配置し、製品の販売、サポート体制を整備しておりグローバルに対応してます。アジア韓国 LINTEC KOREA...

コンパクトな設計で、N2換算250SLMをMax300℃加熱が可能な高温ガス加熱器。特長 高さ240㎜×横101㎜×幅75㎜のコンパクト設計最大流...

新卒採用、キャリア採用、正社員募集募集要項■職種1.技術系開発設計　ソフトウェア開発　生産技術　生産管理　品質保証　カスタマーサポート　購買　製造　装置製...

二流体ノズルと気化室下部のブローアップガスにより、液相での気化室壁面との接触を低減した気化器。高効率の気化を実現する二流体ノズルと、気化室下部からのブローアップガスに...

マスフローコントローラの使用に際し、注意事項をご紹介します。マスフローコントローラー注意事項0点調整電気的な流量測定を行うマスフローコントローラー・マスフ...

FL SeriesFLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。混合ガスをご購入いただくよりもランニ...

流量制御Max120℃、非通電時Max150℃の環境で使用可能な高温用マスフローコントローラ。高温になる接ガス部分と熱に弱い基板部分を分離する事で、高温でのガス制御が...

HX-0300C最大流量N2、300SLMの大流熱交換器。特長 最大流量300SLM最高使用温度250℃ 使用例半導体製造工程...

メタルフリーの高効率石英気化器QV-1000。接液部の構造材料に石英ガラスを採用したメタルフリー（金属不使用）気化器。金属汚染（メタルコンタミネーション）の懸念を排除...

継手接続と取付け姿勢継手接続マスフローコントローラーは様々な流体を流し流量制御する為、継手は気密性の高いVCRかスウェジロックで、口径の単位はインチが一般的で...

最高設定温度300℃の高温設定が可能で、VU-550に比べて気化室を拡大。ヒータパワーをアップし気化出口の距離を延長した大流量気化器。Auシール採用により、最高加熱温...

最小動作差圧800Paの低差圧マスフローコントローラ。独自開発した周囲温度補償式センサ低圧損仕様と、±1%F.S.の精度で圧力損失を低減。独自のピエゾアクチュ...

液体マスフローコントローラー/メーター【特長】気化流量制御液体マスフローメーターにはPID制御回路が搭載されています。コントロールバルブ搭載気化器とセットで使用す...

流量レンジを変更できるバリアブルレンジ機能とデジタル通信（RS-485）、メタルシールを標準搭載した汎用性の高いマスフローコントローラ。バリアブルレンジ機能により、1...

ピエゾアクチュエータ搭載の小型ノンキャリア気化気化器。微小流量の制御と高速応答が可能なピエゾアクチュエータコントロールバルブが気化室直近で液体流量を制御。流量...

0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。...

キャリガスを必要としないクリーンなノンキャリ気化器VU-3000。流量制御された液体を気化室入口のメッシュフィルターに拡散。ノンキャリアでも安定的な液体気化供給。...

ソレノイドアクチュエータ搭載液体用コントロールバルブCV-1000ソレノイドアクチュエータを搭載した液体用コントロールバルブ。0～15Vの電圧入力でバルブ開度が調節可...

±1%S.P.の高性能デジタルマスフローメータ。リンテック独自の周囲温度補償式センサを搭載し、高速測定が可能な高性能デジタルマスフローメータ。従来センサーより...

流量測定時（通電時）Max120℃、非通電時Max150℃の高温マスフローメータ。高温になる接ガス部分と電子基板を分離する事で高温での使用を実現。MM-3...

高性能マスフローコントローラに搭載される流量コントロールバルブ。外部通信0～5Vによりバルブ開度を調整。気体の流量や圧力制御の高速制御が可能なピエゾアクチュエータ搭載...

 会社名株式会社リンテック  LINTEC CO., LTD.設立1987（昭和62年）年10月2日本社・工場〒520-2277滋賀県大津市関津...

オゾンガスの1年動作保証をしたマスフローコントローラリンテック独自の周囲温度補償式センサにより熱分解性の高いオゾンガスの流量制御を実現したオゾンガス専用マスフローコン...

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