高効率気化器【VU-440】

高効率の二流体ノズル気化器構造を採用し気化室を拡大、気化出口を改良する事で未気化排出を抑えた最新モデル。

VU-450より気化室容積を大型にする事で対流時間と熱交換面積を改善。大流量気化を実現。

Gas Outlet までの距離を長くすることにより、ミスト（未気化）の排出を抑制。

Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適。

バルブ一体型気化器の為、LM-3000Lと組み合わせる事で気化器直近で液体流量制御。応答性の高い気化流量制御が可能。

特長

• 高効率気化
• メンテナンス性
• バルブ近接
• 出口加熱距離アップ

使用例

半導体材料の気化供給CVD、ALD

気化室を大きくする事で、中心の二流体ノズルから噴霧されたミストはVU-450よりも拡散。ヒータWをアップしてTEOSで30g/min、H2Oで5g/minの大流量気化が安定的に可能です。

仕様表