水蒸気供給

正確な水蒸気供給の方式は、供給する水蒸気量や二次側圧力、キャリアガスの有無によって異なります。以下にそれぞれの条件における適切な供給方法をご紹介します。

水蒸気供給と条件

方式	高温MFCベーキング方式	気化器直接気化方式
フロー
キャリアガス	無し	有り ※ノンキャリア気化器は不要
水蒸気最大気化量	少ない ※二次圧減圧で最大3SLM(2.4g/min)	多い ※最大約18.6SLM（15g/min）
二次圧	減圧～大気圧	減圧～加圧

LINTEC 水蒸気供給の特長

豊富な実績

LINTECは、1993年から半導体業界向けに世界で初めて直接気化器を販売してきました。半導体業界では高い安定性と信頼性が求められるため、30年以上にわたり様々な材料を安定気化する技術を磨いてきました。また、燃料電池やエンジンの評価設備向けにも水蒸気供給機器を提供しています。

予算・希望納期に応じた提案

LINTECは豊富な実績をもとに、お客様の要望や予算に合わせて気化供給方式や気化器、マスフローなどの機器本体の提案から装置としてのユニット提案を致します。ご興味があれば、以下の項目を可能な範囲でお問合せフォームにご記入いただき、お気軽にお問合せ下さい。

気化供給お問合せ確認事項

1. キャリアガスの有無と流量
2. 水蒸気等、液体の気化供給量（単位が体積換算の場合、液体状態か気体状態か明記してください）
3. 液体の化学式（水蒸気の場合はH2O）
4. 気化二次側の圧力（絶対圧かゲージ圧か明記ください）
5. 気化二次側の温度