Lintecのガス流量制御・測定製品
マスフローコントローラ
| 特長 | 型式 | 通信規格 電源 | 温度 応答速度 精度 | 用途 キーワード |
|---|---|---|---|---|
 高速 MFC | MC-7000 | DeviceNet EtherCAT DC24V電源 | 5~50℃ 0.2秒 ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 ALD |
 | MC-5000C | EtherCAT DC24V電源 | 5~50℃ 1秒 ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 ALD |
 | MC-5000L | DeviceNet DC24V電源 | 5~50℃ 1秒 ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 ALD |
 | MC-3000L | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 5~50℃ 1秒 ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 分析装置 |
 | MC-3000L-TC | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | Max120℃ 1秒 ±1.0%F.S. | 半導体 成膜 液化ガス 分析装置 |
 | MC-3000S | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 5~50℃ 1秒 ±1.0%F.S. | 半導体 成膜 液化ガス 固体昇華 |
 バリアブルMFC | MC-700 | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 15~35℃ 1秒 ±1.0%F.S. | 半導体 成膜 分析装置 |
 | MC-10 | RS-485(ｵﾌﾟｼｮﾝ) アナログ0～5V ±15V電源 | 15~35℃ 1秒 ±1.0%F.S. | 不活性ガス 分析装置 |
 | OZ-1 | EtherCAT又は DeviceNet DC24V電源 | 5~50℃ 1秒 ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 オゾン水 |
マスフローメーター
| 特長 | 型式 | 通信規格 電源 | 温度 精度 | 用途 キーワード |
|---|---|---|---|---|
 | MM-3000L | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 5~50℃ ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 分析装置 |
 | MM-3000L-TN | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | Max120℃ ±1.0%F.S. | 半導体 成膜 液化ガス 分析装置 |
コントロールバルブ
| 特長 | 型式 | 電源 | 温度 応答速度 | 用途 キーワード |
|---|---|---|---|---|
 コントロールバルブ | CV-3000L | 0～5V | 0～50℃ 0.5秒 | 一次圧制御 背圧制御 バブリング |
MFC/MFM用電源表示設定器
マスフローコントローラへの電源供給、流量設定、流量表示を1台で行える専用機器です。
マスフローコントローラと専用ケーブルで接続することで、パソコンやPLCを使用せずに流量を設定・制御できます。瞬時流量に加え、積算流量の表示にも対応しています。