FL Series

FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。混合ガスをご購入いただくよりもランニングコスト削減に貢献できます

特長

  • 必要な時に必要なだけの混合ガスを供給。
  • 供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給。
  • ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。
  • メンテナンスを考えたクリーンな構造。
  • 安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。
  • 気体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。

特長

ガスミキサーフロー図
ガスミキサーフロー図

ランニングコストの高い混合ガスボンベの代わりに、純粋ガスをマスフローコントローラで流量制御し、バッファータンクで混合ガスを自動生成します。使用量をマスフローメーターで監視することで、混合ガスの生成量モードを切り替えます。これにより、混合ガスボンベよりもメンテナンス頻度も低く、生産工場でのランニングコストを削減することができます。

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FL Series.pdf