LVS Series
LVS シリーズは、液体マスフローコントローラと気化器を使用した液体気化供給器をコンパクトにまとめ、流体計測制御機器メーカーとして液体の物性に応じたフローシステムにより、バブリングユニットより安定的に供給でき、ベーキングユニットより大流量で常圧にも対応可能な装置です。
特長
- 各種ユーティリティ接続するだけで手軽に液体気化供給が可能なオールインワン設計
- 液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能
- メンテナンス性を考えたクリーンな構造
- 安全面を考慮した各種アラーム機能搭載
用途
LVSシリーズは、主に各種液体材料の研究開発用途で多く使われています。CVD(chemical vapor deposition)で成膜プロセスに用いる液体材料の気化供給を行います。
液体材料実績例
C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / アクリル酸
※上記以外の液種にも条件により対応可能です。お問い合わせください。
標準仕様
| 使用環境温度/相対湿度 | 20～40℃/80%以下 | |
| 使用条件 | 連続運転 | |
| 電源電圧 | 単相 | AC100V 50/60Hz AC200V 50/60Hz |
| 絶縁抵抗 | 500Vメガにて10MΩ以上 | |
| ユーテリティ | バルブ駆動Air | 0.5～0.6MPa |
| キャリアガス・圧送ガス用N2 | 0.05～0.3MPa | |
| 電源 | 100VAC 200VAC | |
| 配管/筐体 | 配管 | BA管 |
| 液面計 | フロート式 | |
| タンク | 500CC/1L/2L/5L | |
| 温度調節器 | 気化器/配管ライン2点独立制御 | |
| 操作・設定 | タッチパネル | |
オプション
ご要望に応じて仕様の追加・変更のカスタムが可能です。
例：EP管に変更、ガス検知器追加、加熱フィルタ(VF Series)追加、ローカル制御パネルに変更等
