O3(オゾン)用マスフローコントローラ

O3(オゾン)とは？

O3（オゾン）は酸素原子が3つ結びついた分子です。地球の表面を覆っているオゾン層もこのO3の集まりです。

O3は酸素分子と酸素原子に分解しやすい不安定な物質です。常温状態でも長時間維持することができず、温度が上がるにつれて分裂するスピードは速くなります。そんなO3ですが、分解した酸素原子は強力な酸化力を持っており、その酸化力はフッ素の次に強力で、殺菌、脱臭などの効果があります。また、O3は分解しても酸素分子が出来るだけで、環境にやさしい酸化剤と言えます。強い酸化力と環境にやさしい物質であるO3は医療や水処理など様々な場所で使われています。半導体製造工程では洗浄やレジスト除去、成膜の酸化剤として使われています。

O3発生方法

O3は先ほど説明したように不安定で長時間維持できない物質です。よって、ガスボンベで供給することができません。それにより、使用時にオゾンを作る必要があります。オゾンを発生させる方法は大きく3種類あります。

紫外線方式

酸素ガスや空気に紫外線を当て、酸素分子を酸素原子に分解させてO3を作ります。紫外線は水銀灯を使って発生させます。

放電方式

電極にガラスなどの誘電体を設置し、交流高電圧を流すと放電柱が発生します。そこに酸素ガスや空気を供給することで、O3が生成されます。

電気分解方式

高分子電解質膜を電極の間に挟み、水の電気分解を行うことで、O3を発生させます。電極には二酸化鉛などが使われます。電気分解方式は水中でO3を発生させるので、O3ガスではなくオゾン水が生成されます。

O3用マスフローコントローラ

様々な場面で用途のあるO3ですが、O3の流量制御となると簡単ではありません。マスフローコントローラは一般的に熱式センサ方式が多く使われています。ですが、説明した通りO3は温度を加えると分解するスピードが速くなってしまいます。そうするとO3の酸化力を使いたい所へ到達するまでに、分解・反応してしまい、必要としている酸化力の効果がなくなってしまいます。

リンテックのマスフローコントローラ（MC-3000L Series）は独自の周囲温度補償式流量センサによりセンサ温度が低く、熱分解しやすいO3でも流量制御が可能です。また、O3が分解しにくく、接ガス部の酸化を抑えられるため、1年間の動作保証をしています。