マスフローコントローラの使い方を教えてください。
マスフローコントローラを使用する際には、以下の手順に従います。
- 配管の接続を行います。
- リークチェックを行います。
- 必要な電気的な接続（電源や設定電圧など）を行います。
- 電源投入を行い、ゼロ点にズレが無いか確認します。
- マスフローコントローラに差圧を発生させるため、一次側に圧力を加えます。
- マスフローコントローラに設定したい流量を入力します。
1．配管接続
配管直径
マスフローコントローラで使用される一般的な配管の直径は1/4inch(約6.35㎜)が多く使われます。流体や流量によっては、1/16inch、1/8inch、3/8inch、1/2inchなど直径の配管が使われます。そのため、マスフローの継手もこれらに合う直径を選ぶ必要があります。
継手
マスフローコントローラの継手は主にVCRタイプとSwagelokのチューブ継手やが使われます。
VCRタイプ
VCRタイプの継手はオスとメスがあり、一般的にマスフロー側がオスになっています。メタルガスケットをオスとメスの継手で挟み、メス側のナットを手締めで締めしてからスパナで1/8回転しめます。(ガスケットの材質によって異なります。)
Swagelokチューブ継手
チューブ継手はSwagelokともいわれる継手で、マスフローコントローラ側に継手、ナット、フェルールがあります。配管にナットとフェルールを通して継手に差し、ナットを締める事で接続します。
マスフローコントローラを精度良く使うポイントは？
- 電源投入後、約30分間の暖気を行ってください。電源をオンにすると、熱式センサーが加熱されますが、暖気により安定性が向上します。
- ガスが完全に停止している状態でゼロ点リセットを押してください。詳しくはこちらをご覧ください。
- 信号ケーブルを可能な限り短くしてください。設定信号や出力信号は0-5Vの電圧信号です。ケーブルが長いと電圧降下により信号が低下する可能性があります。
- 装置側の電源、設定電圧、出力電圧の各COMMONを互いに接続しないようにしてください。
- 急激な圧力変動が起こらないように、供給圧力を安定させてください。これにより、流量制御の影響が最小限に抑えられます。
- 液化ガスを使用する場合、配管内にコールドスポット（冷却箇所）が発生しないように加熱してください。再液化が発生すると、急激な圧力変動が生じ、流量の不安定性の原因となります。
以上が、マスフローコントローラをより高精度に使用するためのポイントです。これらの注意事項に留意することで、正確な流量制御を実現することができます。