マスフローコントローラー注意事項

マスフローコントローラの使用に際し、注意事項をご紹介します。

電気的な流量測定を行うマスフローコントローラー・マスフローメーターは0点シフトが発生する事があります。リンテックのマスフローコントローラー・マスフローメーターの0点をリセットする機能があります。

多くのマスフローコントローラーは制御する流量の全量がセンサを通りません。センサとバイパスの分流比が一定である事を利用して、全流体がセンサを通過することなく高精度で流量制御します。しかし、パーティクルがセンサやバイパスに詰まると、圧力損失が変化し分流比が変化してしまいます。

また、コントロールバルブにパーティクルが詰まると出流れの原因にもなります。その為、マスフローコントローラーの前段にフィルターを設置する事を推奨します。

マスフローコントローラーは流量制御器であり、シャットオフ性能の保証はありません。マスフローコントローラーの前後にシャットオフバルブの設置を推奨しています。

リンテックのマスフローコントローラーは基本的に取付け姿勢の制限はありません。しかし、低差圧マスフローコントローラー【MC-3000S】は製造時に取付け姿勢考慮して製作します。ご注意ください。