微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。
使用例
液体気化流量の流量コントロール
液体マスフローメータ(LM-3000L)と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器(VU)と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。
液体流量コントロール
リンテック製コントロールバルブ(CV-1000)とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ(LM-3000L)を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。
仕様表
モデル | 温度 | 必要差圧 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. |
LM-3112L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | 0.1g/min | 1.0g/min |
LM-3212L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±1%F.S. | ~6.0g/min | |
LM-3712L | 15~35℃ | 50~300kPa | ±2%F.S. | ~30g/min |
※仕様表は一般仕様の液体マスフローメータです。 はオプションにより変更可能です。
※F.S.は液種によって異なるため一度ご連絡ください。
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