液体マスフローコントローラー/メーター【特長】
気化流量制御
液体マスフローメーターにはPID制御回路が搭載されています。コントロールバルブ搭載気化器とセットで使用する事で気化室直近で流量コントロールが可能になります。
微小流量液体測定
リンテック独自の液体マスフローセンサにより、H2OとC2H5OHでは最小F.S.0.1g/minの液体マスフローメータが製作可能です。液種により最小F.S.は異なりますので詳しくはお問合せ下さい。
微小流量液体制御
ピエゾアクチュエータバルブと微小流量液体流量センサを搭載により、H2OとC2H5OHであれば最小F.S.0.1g/minの液体マスフローコントローラが製作可能です。これにより、0.05g/minの微小流量を制御します。 液種により最小F.S.は異なりますので詳しくはお問合せ下さい。
大流量液体制御
コリオリ式液体流量センサとソレノイドアクチュエータバルブにより、H2OでF.S.140g/minの大流量液体制御が可能です。
精度±1%F.S.
リンテックが世界に先駆けて開発した熱式液体流量センサにより、微小流量の液体でも±1%F.S.の高精度測定が可能です。
メタルフリー
接液部に一切のメタル材料を排除する事で強酸はもちろん、超純水でもメタルコンタミのリスクを回避可能な液体マスフローメタ。
メタルシール
耐腐食性と加工性を兼ね備えたAuシールにより、腐食性液体でも外部リークのリスクを低減し、メンテナンス性を向上。
クリーン
半導体製造装置にも搭載できるよう、0.1μm以上のパーティクルを検査。
RS-485通信
液体MFC,MFM側面にあるモジュラージャックRJ45によりシリアル通信RS-485のデジタル通信が可能です。
コンバージョンファクタ不要
コリオリ式流量センサにより、質量流量を測定する為、コンバージョンファクタが不要です。
比例電磁弁
バルブ電圧により段階的にバルブ開度を制御する為、液体MFMと組み合わせることで液体流量コントロールが可能です。
液体マスフローコントローラー/メーター【オプション】
高温対応
高粘度液体は粘性により圧力損失が大きく、差圧を利用する液体マスフローコントローラでは閉塞のリスクが高まります。そこで高粘度液体の流体測定・制御は、加熱して粘度を下げる必要があります。リンテックの液体マスフローメータ(LM-3000L)では高温対応にする事で、通常よりも高い温度帯での流量校正する事で通常の液体マスフローよりも高温での流量測定・制御が可能です。
滅菌蒸気対応
食品や医療では滅菌蒸気（SPI）処理が必要となります。基板と接液部分を分離する事で耐熱性を向上。非通電時でのSPI処理でが可能です。