液体マスフローコントローラー原理
液体マスフローコントローラーは液体質量流量の自動制御機器で、液体マスフローメーターは液体質量流量を測定する機器です。
マスフローコントローラーの流量制御原理は、熱容量を利用した質量流量測定原理と、流量制御バルブのPID制御により開度調整し、質量流量を自動制御するのがマスフローコントローラーです。
液体マスフローコントローラー特長【リンテック】
リンテックの液体マスフロー（質量流量制御）は、半導体業界でTEOS等の液体気化供給技術が求められ、世界に先駆けて開発した液体質量流量制御のパイオニアです。
液体質量流量制御
液体の流量測定には、体積流量、流速測定などがありますが、微小流量の液体マスフローコントローラ（質量流量制御）は精度と安定性の観点から半導体の成膜工程では欠かせない技術となりました。
高精度
半導体製造工程ではガスよりも価格やハンドリング性に優れたTEOS等の液体ソースを気化させて成膜します。製造工程となると供給量が多く、最新の原料は低蒸気圧材料も多く使われます。従来のガスMFCによるベーキング方式では供給量や耐熱温度がボトルネックとなるので、温度制約が少なく供給量の多い直接気化方式が求められてきました。しかし、直接気化方式では反応ガスの流量制御を液相で行う為、些細な誤差が反応に大きく左右するのです。
H2Oを例にすると、液相1mlを理想状態で気化すると、1,244mlに膨張します。微小流量の高精度な流量制御が要求される液体流量を制御し気化させて反応させる半導体製造装置に欠かせない技術となりました。
安定性
1ml/min以下の流量制御機器は、定量ポンプなどがありますが、定量ポンプでは機械的な切替わり動作を連続的に行うため、脈動が発生します。機械的な切替わりがないシリンジポンプであれば脈動はありませんが、ポンプの容積に限界があり、連続供給はには不向きです。
また、真空装置に液体を流量制御して導入する場合、定量ポンプでは差圧により流量が安定しません。
液体マスフローコントローラの流量制御は、ガスなどで一定圧に加圧された液体を液体マスフローコントローラに導入、内部の流量センサで瞬時流量を検知し、バルブ開度を常に制御する為、二次側が減圧でも大気圧でも一定の流量制御が可能です。
