オゾンガスの1年動作保証をしたマスフローコントローラ

リンテック独自の周囲温度補償式センサにより熱分解性の高いオゾンガスの流量制御を実現したオゾンガス専用マスフローコントローラ。

オゾンガスの流量制御を長期間行っても、オゾンガス濃度を変化させません。（当社調べ）

特長

  • オゾンガスの流量制御が可能
  • 精度±1%S.P.（校正ガス）
  • クリーン（パーティクル保証）
  • 周囲温度補償センサ
  • EtherCAT通信、DeviceNet通信

オプション

  • 低差圧対応
  • ワイドレンジ

使用例

複数のオゾン CVD装置、洗浄装置へオゾン発生装置からの分流供給

オゾンは腐食性が高くMFCでの流量制御ができない為、従来はオゾン発生器数＝オゾンガス需要箇所でした。流量測定時の熱分解を抑えるオゾンガスマスフローコントローラ OZ-1で流量制御すれば、1台のオゾン発生器で複数のオゾンガス需要箇所に供給する事が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.
5～50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.10SCCM50SLM

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LC091J2411A0_OZ-1カタログカタログダウンロード

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