流量測定時（通電時）Max120℃、非通電時Max150℃の高温マスフローメータ。
高温になる接ガス部分と電子基板を分離する事で高温での使用を実現。
特長
- 使用温度Max120℃
- メタルシール
- クリーン（パーティクル保証）
- RS-485通信
オプション
- ヒータブロック
仕様表
| 温度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | シール | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
※仕様表は一般仕様のマスフローメータです。特注仕様はリンテックへご相談ください。
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