±1%S.P.の高性能デジタルマスフローメータ。
リンテック独自の周囲温度補償式センサを搭載し、高速測定が可能な高性能デジタルマスフローメータ。
従来センサーよりも低温での高精度質量流量測定が可能な為、長寿命とO3のような熱分解性の高いガスでの質量流量測定を実現。
特長
- 精度±1%S.P.
- 使用温度5～50℃
- メタルシール
- クリーン（パーティクル保証）
- 周囲温度保証センサ
- RS-485通信
仕様表
| 温度 | 仕様圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | シール |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
※仕様表は一般仕様のマスフローメータです。特注仕様は一度ご相談ください。
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