EtherCATマスフローコントローラ

EtherCAT通信用高性能マスフローコントローラ。

半導体プロセス向け高性能マスフローコントローラEtherCAT通信版。SEMIに準拠しており、半導体製造装置の搬送系で高速化の目的で使われるEtherCAT通信で制御可能。

半導体製造工程で求められるメタルシールと、リンテック独自の周囲温度補償式流量センサを標準搭載し、液化ガス対応などオプションで追加可能。

特長

ロボットアーム等の搬送系を高速制御する目的で EtherCAT通信（デジタルI/F）を設けている半導体製造装置が増えています。EtherCAT通信は65,536ノードと多くMFCの計測系とモーション系要素の全てをEtherCAT通信に統一可能です。

_温度	_最小差圧	_最大差圧	_精度	_制御範囲	_最小F.S.	_最大F.S.	_シール
_15~35℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_10SCCM	_300SLM	_Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。　はオプションにより変更可能です。

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