流量制御Max120℃、非通電時Max150℃の環境で使用可能な高温用マスフローコントローラ。
高温になる接ガス部分と熱に弱い基板部分を分離する事で、高温でのガス制御が可能。
ブロックにSUS-316L、シール材にAuを採用し、腐食性ガスに対応。
オプションで液化ガスの再液化を防ぐ低差圧仕様と、接ガス部分を加熱するMFC専用ヒータブロックも選択可能。
【MC-3000L-TC】
特長
- 使用温度Max120℃
- メタルシール
- クリーン（パーティクル保証）
- RS-485通信
オプション
- 液化ガス対応
- ヒータブロック
使用例
液化ガス、昇華ガス流量制御
CVDやALDの原料ガスは常温常圧で気体とは限りません。常温常圧で液体又は固体原料が多く使われます。液体、固体は常温ではガスの発生量が少なく、差圧を使ってガスを流すMFCでは流量制御が難しくなります。そこで原料タンクを加熱し、蒸気圧を上昇させて差圧を作ることでMFCの動作圧を確保します。高温制御と低差圧の動作圧が可能なMC-3000L-TCは液化ガスや昇華ガスの流量制御に最適です。
仕様表
| 温度 | 最小差圧 | 最大差圧 | 精度 | 制御範囲 | 最小F.S. | 最大F.S. | シール | |
| Low | 80～100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。
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