液体容器を加熱し、ガス化した液化ガスを高温ガスマスフローコントローラで流量制御する方式。
MFCベーキング方式原理
液体タンクを加熱する事で液体が気化、液体タンク圧力が液体の蒸気圧によって上昇します。液体タンクで気化した液化ガスはMFCを通ってチャンバへ流れます。
MFCの質量流量センサで液化ガスの質量流量を測定、コントロールバルブの開度を調整する事で液体気化流量を制御する方式です。MFCの耐熱温度と動作差圧が重要です。
濃度100%の液化ガスを供給可能ですが、ガスMFCの耐熱温度以下での使用が必須であり、液体の蒸気圧や供給量に制約があります。これらの課題を解決する為、直接気化方式が開発されました。
特長
- キャリアガスを使用しない
- MFCを使用するため、応答速度が速い
- ガス流量を直接制御するため、確実性が高い
