高温高効率気化器【VU-550】

最高使用温度300℃の高温効率気化器。

液体ノズルとキャリアガスノズル（0.8~180SLM）の二流体ノズルによる高効率気化器。

メタルシールと耐熱構造により最高使用温度300℃での気化が可能。

複数の液体制御バルブを搭載し、原料液体の他に希釈液・洗浄液等の複数液を同時に流量制御、気化を実現。

使用例

高沸点液体の気化

二流体ノズルと、最高加熱温度300℃の耐熱構造により、Low-K,High-k、各種メタルなど、高沸点な低蒸気圧液体材料の気化に最適です。

オプションで気化室直近に複数の液体制御バルブを設置する事により、原料液・希釈液・ソルベントなどを交互、又は同時に気化が可能です。

仕様表

詳細仕様はお問合せ下さい。