気化器設定温度を最高300℃に設定可能です。その為、少量のキャリアガスでも安定気化が可能。高濃度での気化供給が必須のプロセスに最適です。
LM-3700と組み合わせる事で、最大H2O 15g/minの気化が可能です。実験だけでなく生産設備として圧力変動の少ない過加熱蒸気蒸気発生源として生産設備に最適です。
最高温度 | キャリアガス流量 | 最大H2O気化流量 | 最大TEOS気化流量 | シール |
300℃ | 0.8~130SLM | 15g/min | 50g/min | Au |
詳細仕様はお問合せ下さい。
取扱説明書のダウンロードは会員ページから
PAGE TOP