高効率気化器【VU-450】

二流体ノズルの高効率気化と大型の気化室による大流量、高効率な気化器。

液体ノズルとキャリアガスノズル（0.8~180SLM）の二流体ノズルによる高効率気化。VU-430より気化室容積を大型にする事で対流時間と熱交換面積を改善。大流量気化を実現。

バルブ一体型気化器の為、LM-3000Lと組み合わせる事で気化器直近で液体流量制御。応答性の高い気化流量制御が可能。

特長

気化室を大きくする事で、中心の二流体ノズルから噴霧されたミストはVU-430よりも拡散。TEOSで20g/min、H2Oで5g/minの大流量気化が安定的に可能です。

最高温度	キャリアガス流量	最大H2O気化流量	最大TEOS気化流量	シール
200℃	0.8~130SLM	5g/min	20g/min	Au

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