ノンキャリア気化器【VU-3000】

キャリガスを必要としないクリーンなノンキャリ気化器VU-3000。

流量制御された液体を気化室入口のメッシュフィルターに拡散。ノンキャリアでも安定的な液体気化供給。

気化器最高温度200℃まで設定可能でH2Oをはじめ様々な液体原料のノンキャリア気化供給を実現。

特長

• ノンキャリア
• メンテナンス性

使用例

アッシング、洗浄

アッシング（酸化）などの洗浄でH2Oは一般的ですが、ノンキャリで供給するには高温用マスフローコントローラによるベーキング方式が一般的です。しかし、ベーキング方式は二次側条件（減圧）や供給量の制限があります。H20：5g/min（6.2SLM）の流量を二次圧条件に関わらずノンキャリで供給可能です。

H2Oガスによる大気圧評価

大気圧条件でも気化器に導入したH2O（液相）を瞬時に気化可能なVU-3000であれば、液体マスフローコントローラで流量制御、気化器に導入する事でH2Oガス発生量を精密に制御可能です。燃料電池など大気条件でのH2Oガスを使用する評価に使用可能です。

仕様表

詳細仕様はお問合せ下さい。

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