加熱フィルタ【VF-0201N】0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。特長 0.1µmのろ過精度Max200℃オールメタルのクリーン構造VF-0201N使用例気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。カタログダウンロードVFダウンロードお気軽にお問い合わせください。077-536-2210受付時間 9:00-17:30 [ 土・日・祝日除く ] お問い合わせ
