最大流量N2、300SLMの大流熱交換器。
特長
- 最大流量300SLM
- 最高使用温度250℃
使用例
半導体製造工程での乾燥ドライヤー
HX-0300Cは300SLMまで大流量の加熱が可能です。大流量の加熱ガスで乾燥する事によりスループット向上に繋がります。また、ヒータ部分が接ガスに露出していない構造の為、クリーンな環境が必要とされる半導体製造やFPD製造工程での使用に最適です。
仕様表
| 流量(N2換算) | 圧力損失(N2) | 耐圧(G) | 使用温度 | 接ガス部材質 | |
| 仕様 | 300SLM | 30kPa | 1MPa | 250℃ | SUS316L |
※小型ガス加熱器、小型熱交換器の詳細仕様は直接お問合せ下さい。
カタログダウンロード
取扱説明書のダウンロードは会員ページから
お気軽にお問い合わせください。077-536-2210受付時間 9:00-17:30 [ 土・日・祝日除く ]
お問い合わせ