PLC等の上位装置からマスフローコントローラへ流量設定信号、流量出力信号をPSシリーズを介して入力し、PSシリーズから±15V電源を供給します。
LabVIEWなどパソコンからのインターフェイスや、ノイズ対策でPLCからのデジタル通信する場合、PSシリーズからマスフローコントローラへの電源±15Vを供給します。