MFCとの設定電圧、出力電圧等の電圧状態の確認が行えるマスフローコントローラ専用の動作チェック機器です。
また、低消費電力の電圧計が内蔵されており、装置からの信号、MFCから装置への信号が正常かどうか、モニタすることができ、動作不良時の原因追及が容易となります。
接続例
マスフローコントローラと装置電源との間に接続、またはマスフローコントローラと電源表示設定器（RP-310）との間に本器を接続し、各種信号、電圧の計測、確認を行います。
計測機能
・電源電圧（±15VDC）
・流量設定電圧（0-5VDC）
・流量出力電圧（0-5VDC）
・バルブ開閉電圧（±15VDC）
・シェル電圧
