マスフローコントローラ電源|気化器温調器

リンテック製品(マスフローコントローラ、気化器、熱交換器）をご使用いただくにあたって必要な各種アクセサリと当社製品の接続例です。

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マスフローコントローラ用電源表示器【RP-310】

専用ケーブルを用いてリンテック製マスフローコントローラ1台と電源表示設定器(RP-310)1台を接続することでアナログ通信でマスフローコントローラの流量設定、表示(瞬時、積算）が行えます。

使用例

• ポテンションメータで感覚的なMFCの流量設定
• スタンドアローンでのMFC流量制御
• MFCの積算流量表示
• MFCの流量制御をローカルモードとリモート（上位PLC）の両方で制御

接続例

マスフローコントローラ専用電源【PS Series】

最大9台までマスフローコントローラを接続できる、電源ユニット（PS Series）を用いることでパソコンやPLC等で複数のMFCを制御できます。

使用例

• PCからデジタル制御（LabVIEW等）するMFCの電源供給
• PLCから流量制御するMFCの電源供給

接続例

MFCインラインモニタ【IM-10】

マスフローコントローラと装置電源の中間にインラインモニタ（IM-10）を接続する事で、入力信号、出力信号、バルブ開閉信号、電源電圧の電圧を測定。マスフローコントローラの動作確認がインラインで行えます。

使用例

• MFCへの電源電圧（±15V）の確認
  
• MFCへの流量設定値（0～5V）の確認
• MFCからの流量出力値（0～5V）の確認
• MFCへのバルブ開閉信号の確認
  
  

接続例

温度調節ユニット【TCU Series】

リンテック製のガス加熱器（HX Series）や液体気化器（VU Series）等、温度制御が必要な製品と温度調節ユニット（TCU Series）を接続することで、加熱機器の電源供給と温度設定を行えます。

接続例

使用例

• 熱交換器（HX Series）の温度制御
• 気化器（VU Series）の温度制御