LVS Series

LVS シリーズは、液体マスフローコントローラと気化器を使用した液体気化供給器をコンパクトにまとめ、流体計測制御機器メーカーとして液体の物性に応じたフローシステムにより、バブリングユニットより安定的に供給でき、ベーキングユニットより大流量で常圧にも対応可能な装置です。

特長

  • 各種ユーティリティ接続するだけで手軽に液体気化供給が可能なオールインワン設計
  • 液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能
  • メンテナンス性を考えたクリーンな構造
  • 安全面を考慮した各種アラーム機能搭載

用途

LVSシリーズは、主に各種液体材料の研究開発用途で多く使われています。CVD(chemical vapor deposition)で成膜プロセスに用いる液体材料の気化供給を行います。

直接気化方式フロー図

液体材料実績例

C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / アクリル酸

※上記以外の液種にも条件により対応可能です。お問い合わせください。

標準仕様

※図はイメージです。
使用環境温度/相対湿度20~40℃/80%以下
使用条件連続運転
電源電圧単相AC100V 50/60Hz
AC200V 50/60Hz
絶縁抵抗500Vメガにて10MΩ以上
ユーテリティバルブ駆動Air0.5~0.6MPa
キャリアガス・圧送ガス用N20.05~0.3MPa
電源100VAC
200VAC
配管/筐体配管BA管
液面計フロート式
タンク500CC/1L/2L/5L
 温度調節器気化器/配管ライン2点独立制御
 操作・設定タッチパネル

オプション

ご要望に応じて仕様の追加・変更のカスタムが可能です。

例:EP管に変更、ガス検知器追加、加熱フィルタ(VF Series)追加、ローカル制御パネルに変更等

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