マスフローコントローラの使い方をご紹介します。

マスフローコントローラーへの電源供給

マスフローコントローラーは電源±15VDCの供給が必要です。また、温度測定原理は熱容量を利用する為、よりセンシングを安定する為に使用前30分前の電源投入をお勧めします。

接続の詳細はマスフローコントローラーの接続をご覧ください。

一次圧の供給

マスフローコントローラは質量流量を自動制御器ですが、ポンプのように流れを生み出す事は出来ません。一次側(ボンベ)と二次側(チャンバー)の圧力差(差圧)によって発生する流体の流れが必要です。この圧力の高低差によって発生する流れの流量を測定してコントロールバルブの開度を調整する事で流量制御を行います。

差圧範囲

差圧が大きすぎればマスフローコントローラー出流れやハンチング、故障の原因となります。少なすぎると差圧不足により流量不足の原因となります。

一般的なマスフローコントローラーの差圧範囲は50~300kPaです。製品や仕様によって差圧範囲は異なりますので、必ずご確認いただきレギュレーターなどで適正圧力に調整してご使用ください。

マスフローコントローラー設定信号

差圧が適切な条件になっている事を確認し、流量設定信号(0~5V)を入力してください。その際、バルブ開閉信号の解除が必要です。マスフローコントローラーは流量設定信号より、バルブ開閉信号の動作が優先されます。

使用後のパージ

液化ガスの使用後は必ずパージ作業を行てください。残留ガスが温度や圧力条件の変化により再液化しる可能性があります。センサやバルブの微細構造部で詰まと故障の原因になります。