マスフローコントローラーのコンバージョンファクター

マスフローコントローラーは様々な流体の質量流量を制御します。熱容量を利用して計測する熱式マスフローでは、流体の種類が変わると温まりやすさ（比熱）が変わる為、流体固有の係数で補正する必要があります。これをコンバージョンファクターといいます。

代表的なコンバージョンファクター

その他ガス種のコンバージョンファクターについては、直接お問い合わせください。

コンバージョンファクターの測定

コンバージョンファクターの測定にはボイルシャルルの法則を利用したビルドアップ法などがあります。

手順

測定したいガスの二次側に窒素で校正したマスフローコントローラーを設置し、後段の容器を真空引き、内圧と温度を測定します。マスフローコントローラーで適当な流量を制御しながら二次側のタンク内圧を測定、上昇圧力と温度から増加した質量を計算する事でコンバージョンファクターを測定します。

コンバージョンファクターの計算

定圧比熱がわかればコンバージョンファクターの計算も可能です。新しいガスの流量制御にはリンテックへ直接お問合せ下さい。

混合ガスのコンバージョンファクター

混合ガスはガス比率によりコンバージョンファクターが変化します。リンテックのマスフローコントローラーで混合ガスを制御する場合、コンバージョンファクターを計算致します。直接お問合せ下さい。