継手接続と取付け姿勢

継手接続

マスフローコントローラーは様々な流体を流し流量制御する為、継手は気密性の高いVCRかスウェジロックで、口径の単位はインチが一般的です。これは、マスフローコントローラーが半導体製造技術を初めとした真空装置と共に発展した歴史があります。

最も多く使用される口径は1/4インチです。短納期の場合は1/4インチの継手をお勧めします。

※㎜でのご注文も可能です。一度お問合せ下さい。

インチ
1/161.59
1/83.18
1/46.35
3/89.53

取付け姿勢

マスフローコントローラーの設置方向は基本的に自由です。リンテックのマスフローコントローラーでは低差圧マスフローコントローラ(MC-3000S)は取付け姿勢を考慮して製造する為、ご注意ください。

電源、設定信号、出力信号接続

アナログインターフェイス

マスフローコントローラーのアナログインターフェイスはD-sub9ピンです。下記コネクタ表と結線図を参考に接続してください。

  • ピンNo.4,7,8はMFC側で接続されています。
  • 流量設定電圧の入力インピーダンスは100kΩ、バルブ開閉入力抵抗は100kΩです。
  • COMMON電位差の影響を無くすため、ピンNo.4,7,8電源側で接続しないでください。
結線接続図

マスフローコントローラー用制御ユニット(RP-310)を使用すれば、コネクタを接続するだけで結線不要です。

デジタル通信接続(デジタルインターフェイス)

外部からの設定信号、出力信号、バルブ開閉信号はデジタル通信(RS-485)で接続する事が可能です。

RS-485は2線式の半二重方式に対応しています。コネクタ接続は下記表の通り接続して下さい。RS-485はデイジーチェーンの接続で最大32台のマスフローコントローラーを接続することが可能です。PCと接続する際RS-232C又はUSBからRS-485への通信信号変換が必要です。MFC 本体に接続する際、”PortA”又は”PortB”どちらでも接続が可能です。接続したケーブル端をターミネーションする必要があります。必ず120Ωの抵抗で終端を接続して下さい。

RS-485デジタルインターフェイスコネクタ(PortA,PortB)