マスフロー流量単位

ガスマスフロー流量単位

ボイルシャルルの法則により気体は温度・圧力によって体積が変化します。その為、質量流量単位は一般的に1atm換算で規定されますが温度条件は別々です。当社では0℃、20℃、25℃で規定しております。

1atm、0℃換算

  • SCCM…㏄/min
  • SLM…ℓ/min

1atm、20℃換算

  • NCCM…cc/min
  • NLM…ℓ/min

1atm、25℃換算

  • CCM…cc/min
  • LM…ℓ/min

液体マスフロー流量単位

液体マスフローは質量流量計の為、質量換算となります。単位は1分間に何g流れるかという意味で、g/minとなります。

フルスケール(F.S.)

最大流量の事で、F.S.と表記されます。マスフローコントローラはF.S.を発注時に指定可能です。また、VR機能つきマスフローコントローラであればF.S.の変更が可能です。

コンバージョンファクタ(C.F.)

熱式MFCは様々な物質の流量を測定、制御しますが製造段階では実ガス・実液で校正するのは安全面と生産性の観点から難しいのが実情です。そこで、校正用の安全なガス・液とお客様で使用するガス・液の比率を測定した数値がC.F.となります。

リンテックでは1987年の創業以来、様々なガス種・液体のC.F.を測定してきました。もし実績のないガス種については物性データをご連絡いただければ計算してご提案致します。

コリオリ式センサ

振動しているU字型チューブ内を液体が流れると、チューブの動きに抵抗する力が発生し、その力は質量流量に比例したねじれを発生させる。そのねじれをセンサにより検出することで質量流量を計測。

必要差圧

マスフローコントローラにはセンサや、バルブなどの微細な構造があるため、流量制御をすると圧力損失を生みます。マスフローコントローラの圧力損失は製品によって異なる為、流体を流すため最低限必要な差圧を必要差圧と言います。

差圧

マスフローコントローラの一次側と二次側の圧力差を差圧と表現します。定量ポンプのように動力を持たないマスフローコントローラは、この圧力差の傾斜により物質を二次側に流します。

液化ガス

常温常圧で液相、マスフローコントローラによる流量制御時には気相の総称です。

MFC

マスフローコントローラ(Mass Flow Controller)の頭文字をとり、MFCと表記します。