微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。

LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min~20g/minの微小流量測定を高精度で実現。

PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品(気化器コントロールバルブ)と組み合わせる事で液体の流量コントロール可能。

液体マスフローメータ
LM-3000L

使用例

液体気化流量の流量コントロール

液体マスフローメータ(LM-3000L)と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器(VU)と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。

液体流量コントロール

リンテック製コントロールバルブ(CV-1000)とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ(LM-3000L)を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度最小F.S.最大F.S.シール
15~35℃50kPa300kPa±1%F.S.0.1g/min20g/minAu

※仕様表は一般仕様の液体マスフローメータです。 はオプションにより変更可能です。
※F.S.は液種によって異なるため一度ご連絡ください。

カタログダウンロード

LM-3000L Series.pdf