微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。
LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min～20g/minの微小流量測定を高精度で実現。
PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品（気化器、コントロールバルブ）と組み合わせる事で液体の流量コントロールが可能。
使用例
液体気化流量の流量コントロール
液体マスフローメータ（LM-3000L）と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器（VU）と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。
液体流量コントロール
リンテック製コントロールバルブ（CV-1000）とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ（LM-3000L）を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。
仕様表
| 温度 | 最小差圧 | 最大差圧 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | シール |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 0.1g/min | 20g/min | Au |
※仕様表は一般仕様の液体マスフローメータです。 はオプションにより変更可能です。
※F.S.は液種によって異なるため一度ご連絡ください。
LM-3000L Series.pdf