高性能マスフローメータ

微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。

LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min～20g/minの微小流量測定を高精度で実現。

PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品（気化器、コントロールバルブ）と組み合わせる事で液体の流量コントロール可能。

特長

液体マスフローメータ（LM-3000L）と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器（VU）と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。

リンテック製コントロールバルブ（CV-1000）とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ（LM-3000L）を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。

_温度	_最小差圧	_最大差圧	_精度	_最小F.S.	_最大F.S.	_シール
_15~35℃	_50kPa	_300kPa	_±1%F.S.	_0.1g/min	_20g/min	_Au

※仕様表は一般仕様の液体マスフローメータです。　はオプションにより変更可能です。
※F.S.は液種によって異なるため一度ご連絡ください。