微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。
LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min~20g/minの微小流量測定を高精度で実現。
PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品(気化器、コントロールバルブ)と組み合わせる事で液体の流量コントロールが可能。

使用例
液体気化流量の流量コントロール
液体マスフローメータ(LM-3000L)と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器(VU)と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。
液体流量コントロール
リンテック製コントロールバルブ(CV-1000)とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ(LM-3000L)を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。
仕様表
温度 | 最小差圧 | 最大差圧 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | シール |
15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 0.1g/min | 20g/min | Au |
※仕様表は一般仕様の液体マスフローメータです。 はオプションにより変更可能です。
※F.S.は液種によって異なるため一度ご連絡ください。