LC-3000Lは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。

熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化した液体用マスフローコントローラ。

液体質量流量センサで現在の質量流量を測定、ピエゾバルブの開度をフィードバック制御する事で、高速で液体質量流量の自動制御が可能。

LC-3000L

特長

使用例

脈動のない微小流量の連続制御

定量ポンプは一定量の液体を流せる便利な製品ですが、可動部がある為脈動が発生します。リンテックの液体マスフローコントローラは適切な圧力で一定の圧力で加圧されていれば、脈動のない安定した流量制御が可能です。

真空装置への液体制御

二次側が真空条件では、容積式では液体が抜けてしまい流量制御が難しくなります。 コントロールバルブと質量流量センサが一体化した液体マスフローコントローラ(LC-3000シリーズ)は、適切な差圧条件であれば二次圧に関わらず流量制御が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
15~35℃50kPa300kPa±1%F.S. 5~100%F.S. 0.1g/min2g/minAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。
※F.S.は液種によって異なる為、一度ご連絡ください。

カタログダウンロード

LC-3000L Series.pdf