応答時間100msec(typical)の超高速マスフローコントローラ。

サーマルセンサで100msec(typical)の高速流量制御を実現。リンテック独自の非接触式、熱式流量センサとピエゾコントロールバルブにより、腐食性ガスの超高速流量制御が可能。

流量精度±1.0%S.P.の高精度で、デジタル通信方式はDeviceNetとEtherCATを選択可能。

      MC-7000

超高速流量制御

         全閉から制御
         パルス応答性

使用例

高速エッチングプロセス

半導体製造工程では微細化と並行してスループット向上が求められています。反応ガスの流量制御を行うマスフローコントローラでも、流量制御開始(立上り)時間を短くする要望が増えています。超高速マスフローコントローラ【MC-7000】は流量センサと流量測定ガスが接触しない非接触式の熱式流量センサで、100msec(typical)の超高速応答を実現しました。非接触式のため、腐食性ガスの流量測定の高速流量制御が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAu

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MC-7000 Series.pdf

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