DeviceNet通信対応マスフローコントローラ。

最新の半導体製造装置搭載の制御機器は、アナログ制御ではなく、高速制御や配線の簡素化を目的にオープンフィールドワークでの通信が増えています。

リンテックでは、業界に先駆けて
SEMI規格準拠のDeviceNet™ 通信用マスフローコントローラMC-5000Lを開発。半導体製造で求められるメタルシールと、独自の周囲温度補償式流量センサを搭載。液化ガス対応など様々なオプションにも対応可能。

DeviceNetマスフローコントローラ
MC-5000L

使用例

配線の簡略化

半導体装置ではフィールド・ネットワークの制御が増えています。DeviceNet通信専用MFC(MC-5000L)ではAD/DAコンバータ、IOボードが不要で、ローコスト化、省配線が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.
5SCCM200SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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