EtherCAT通信用高性能マスフローコントローラ。

半導体プロセス向け高性能マスフローコントローラEtherCAT通信版。SEMIに準拠しており、半導体製造装置の搬送系で高速化の目的で使われるEtherCAT通信で制御可能。

半導体製造工程で求められるメタルシールと、リンテック独自の周囲温度補償式流量センサを標準搭載し、液化ガス対応などオプションで追加可能。

EtherCATマスフローコントローラ
MC-5000C

使用例

EtherCAT通信装置の通信統一

ロボットアーム等の搬送系を高速制御する目的で EtherCAT通信(デジタルI/F)を設けている半導体製造装置が増えています。EtherCAT通信は65,536ノードと多くMFCの計測系とモーション系要素の全てをEtherCAT通信に統一可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
15~35℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.10SCCM300SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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