最小動作差圧800Paの低差圧マスフローコントローラ。

独自開発した周囲温度補償式センサ低圧損仕様と、±1%F.S.の精度で圧力損失を低減。

独自のピエゾアクチュエータバルブにより、低差圧で正確な流量制御と安定性を実現。

低差圧マスフローコントローラ
MC-3102S

使用例

低蒸気圧ガス低温での流量制御

MC-3000Sは、独自に開発した低圧損構造により、H2O等の液体原料を常温でも二次側が真空状態であれば流量制御が可能な低差圧マスフローコントローラです。少量の水蒸気を真空チャンバに送るITOスパッタ法等におすすめです。その他にも、XeF2等蒸気圧の低い固体原料でも常温で流量制御が可能です。

減圧タンク容器(SDS容器)の流量制御

イオン注入装置では、AsH3、PH3といった特殊材料ガスが用いられ、安全かつ安定的に供給するためにセイフ・デリバリー・ソース(SDS)容器による供給が多く用いられます。SDSはタンク圧が大気圧よりも低い状態で充填されており、低差圧で流量制御可能なMFCが必要となります。MC-3000Sでは、独自の低圧損構造により、最低800Pa(6Torr)の差圧で流量制御が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
5~50℃800Pa133kPa±1%F.S.
2~100%F.S.
2SCCM30SCCMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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