±1%S.P.保証を実現した高性能デジタルマスフローコントローラ

リンテック独自の周囲温度補償式センサにより低温でも高精度の流量測定を実現。センサへの熱による経年劣化を抑え、オゾンなど分解性が高いガスでも流量制御が可能。

オプションとして、液化ガス、微小流量F.S.、ワイドレンジ、面間や継手の指定などにも対応可能な高性能でオールマイティーなデジタルマスフローコントローラ。

高性能マスフローコントローラ【MC-3000L】
高性能マスフローコントローラ

使用例

半導体製造前工程

CVD(化学気相成長)ALDの成膜装置やエッチング装置では反応性の高いガスが使用される為、耐腐食性の高いメタルシールのガスマスフローコントローラーが必須です。

また、プリカーサには常温常圧では液体のガスも多く、耐熱温度と再液化しにくいバルブ構造が重要となります。高精度マスフローコントローラのMC-3000Lでは液化ガス対応オプションや、最高使用温度50℃(オプション55℃)の選択が可能です。

分析装置

分析装置では微小流量の制御が求められる事がありますが、一般的なマスフローコントローラの最小F.S.は5SCCMと微小流量の制御は出来ません。高精度マスフローコントローラのMC-3000LではオプションでF.S.1SCCM以下での製作も可能です。詳細は一度ご相談ください。

また、高精度マスフローコントローラのMC-3000Lではデッドボリュームの小さいダイヤフラムバルブを標準搭載しいます。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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