流量制御Max120℃、非通電時Max150℃の環境で使用可能な高温用マスフローコントローラ。

高温になる接ガス部分と熱に弱い基板部分を分離する事で、高温でのガス制御が可能。

ブロックにSUS-316L、シール材にAuを採用し、腐食性ガスに対応。

オプションで液化ガスの再液化を防ぐ低差圧仕様と、接ガス部分を加熱するMFC専用ヒータブロックも選択可能。

高温マスフローコントローラ【MC-3000L-TC】製品画像
高温マスフローコントローラ
【MC-3000L-TC】

使用例

液化ガス、昇華ガス流量制御

CVDやALDの原料ガスは常温常圧で気体とは限りません。常温常圧で液体又は固体原料が多く使われます。液体、固体は常温ではガスの発生量が少なく、差圧を使ってガスを流すMFCでは流量制御が難しくなります。そこで原料タンクを加熱し、蒸気圧を上昇させて差圧を作ることでMFCの動作圧を確保します。高温制御と低差圧の動作圧が可能なMC-3000L-TCは液化ガスや昇華ガスの流量制御に最適です。

仕様表 

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
Low80~100℃50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLMAu
high100~120℃
50kPa
300kPa ±1%F.S. 2~100%F.S.10SCCM25SLMAu

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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