短納期と低価格を実現した、ラバーシールモデルのマスフローコントローラ。

Ar、N2などの不活性ガスの流量制御やAirなどの流量制御に最適な低価格マスフローコントローラ。仕様を限定することで短納期対応を実現。

追加オプションのバリアブルレンジ機能で流量レンジ変更も可能。RS-485RS-232のデジタル通信も追加可能。

低価格マスフローコントローラ
MC-10RC

使用例

PVD

スパッタリング等のPVD成膜装置では、一般的に不活性ガスと呼ばれる化学反応が起きにくく安定した気体であるArが使用されます。そのようなAr等の不活性ガスをMFCでの流量制御を必要とする場合、コストを抑えられる低価格マスフローコントローラ(MC-10RC)がおすすめです。

不活性ガス分析・実験装置

上記同様に腐食性ガスや反応性の高いガス等は使用せず、不活性ガスの流量制御のみを必要とする場合はコストを抑えられるメリットのある低価格MFCのMC-10がおすすめです。また、オプションでVR機能を付けることが可能で、実験装置等の様々なガスの流量制御や流量レンジの変更にも対応できます。

仕様表

温度最小差圧最大差圧精度制御範囲最小F.S.最大F.S.シール
15~35℃50kPa300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM150SLMバイトン

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 はオプションにより変更可能です。

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