ガスマスフローコントローラ【特長】

高精度±1%S.P.保証

マスフローコントローラの流量精度はS.P.（セットポイント）とF.S.（フルスケール）の2種類があります。1%S.P.では設定流量（セットポイント）に対して±1%の精度保証がされる為、高精度のマスフローコントローラとなります。

高速応答

マスフローコントローラの質量流量センサには高速応答が可能ブリッジ回路と周囲温度センサを組み合わせた、リンテック独自の周囲温度補償マスフローセンサを搭載。流量調節を行うコントロールバルブには、高速で高精度な動作が可能なピエゾアクチュエータを採用。無料のPID調整ソフトで再調整をする事で、ご使用条件での最適化も可能。

使用温度5～50℃

周囲温度補償式マスフローセンサと温度補正で、5℃～50℃の幅広い温度のガスでも正確に流量制御します。また、オプション対応で、蒸気圧の低い液化ガスを45～55℃で制御可能な55℃温度補正オプションも選択可能です。

高温120℃対応

接ガス部分と熱に弱い基板を分離する事で高温120℃でのガス制御が可能。加熱した低蒸気圧の液化ガスや固体昇華ガスの流量制御が可能な高温マスフローコントローラです。

メタルシール

基本部材に腐食に強いSUS-316Lを採用、シール材に加工性と耐腐食性に優れたAuを採用することで、耐腐食性と高いメンテナンス性を実現したガスマスフローコントローラーです。

※流量や仕様によって材質が異なる場合があります。ご注意ください。

クリーン

ダイヤフラムで流量制御部分とアクチュエータを隔離することで、クリーンな流量制御を実現すると同時に、デッドボリュームを抑える構造により、滞留ガスが少なく、ガス抜けが良い構造を実現。また、出荷時にパーティクル検査を実施しているクリーンなガスマスフローコントローラです。

低差圧

通常のガスマスフローコントローラは、最低差圧50kPaが一般的です。これではSDSや固体昇華など一次圧が低圧の差圧条件では十分な流量制御ができません。リンテックではガスマスフローコントローラで圧力損失の原因になるコントロールバルブは勿論、センサ構造から見直し最低差圧800Paの低差圧を実現しました。

EtherCAT^®

ドイツのBeckhoff Automation GmbHが 開発したイーサネットを使用したオープンネットワーク。現在はETG（EtherCAT Technology Group）により管理。通信帯域を有効活用した高効率通信を特長とし、 ノード間のデータ通過時間による遅れを調整した同期制御が 実現できるため、モーションコントロール用のネットワーク としても対応可能。

フィールド機器の接続方法としてI/O接続の代わりにシリアル通信を用い、 大量のデータを効率的に伝送することができるようになる。これによってフィールド機器のインテリジェント化を促進し、システムの生産性 を高めるために標準化された接続方式である。

デイジーチェーン方式の配線が 推奨されているが、スター型、ライン型、リング型など自由度の高いトポロジーに対応。最大で65535台のノードと接続可能。

DeviceNet™

1990年代にアメリカのRockwell Automation, Inc.によって開発されたオープンネットワーク。
ODVA (Open DeviceNet Vendor Association, Inc.)が管理、認証、普及活動を行ってるオープンネットワークで、ODVAに参加すれば、仕様書を入手でき、DeviceNet対応装置を製造可能。

フィールド機器の接続方法としてI/O接続の代わりにシリアル通信を用い、 大量のデータを効率的に伝送することができるようになる。これによってフィールド機器のインテリジェント化を促進し、システムの生産性 を高めるために標準化された接続方式である。

RS-485通信

マスフローコントローラ側面にあるモジュラージャック（RJ45）よりシリアル通信RS-485が可能です。

RS-232通信

ガスマスフローコントローラー側面にあるモジュラージャック（RJ45）よりシリアル通信RS-232が可能です。

低価格

MC-10RCはシール作業が簡便な樹脂シールを採用し、仕様を限定する事で低価格を実現したガスマスフローコントローラーです。

バリアブル機能

バリアブル（VR）機能はガスマスフローコントローラーのF.S.を可変する機能で、MC-700とMC-10RC（オプション）に搭載されています。

ガスマスフローコントローラ【オプション】

液化ガスオプション

温度と圧力条件によって、物質の状態は液体、気体、個体に変化します。ガスマスフローコントローラーの一般的な最低動作差圧は50kPaで、蒸気圧が低い液化ガスは、コントロールバルブでの流速変化により液化、故障のリスクが高まります。リンテックのMC-3000Lシリーズは、独自のダイヤフラムバルブと細やかな調整で低差圧仕様でHMDSO、C6H5CH3（トルエン）、WF6、SiH2Cl2等、液化ガスの流量制御が可能です。

微小流量オプション

ガスマスフローコントローラの最小F.S.は5SCCM（N2換算）ですが、MC-3000シリーズでは、5SCCM未満のF.S.で製作する事が可能です。詳細については直接お問合せ下さい。

ワイドレンジオプション

一般的なガスマスフローコントローラの流量制御範囲は2～100%F.S.です。精度と安定性に優れた周囲温度補償式マスフローセンサを搭載したガスマスフローコントローラーMC-3000Lでは、ワイドレンジオプションにする事で0.5～100%F.S.の幅広い流量制御範囲での制御が可能になります。

ヒータブロック

ガスマスフローコントローラーの底面に取り付けるヒータと温度センサが一体となったブロックです。温度調節ユニット等とつなげる事で、ガスマスフローコントローラーの流体制御、測定ブロックを加温。液化ガスや昇華ガスの再凝縮対策として有効です。

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