高性能マスフローコントローラに搭載される流量コントロールバルブ。

外部通信0~5Vによりバルブ開度を調整。気体の流量や圧力制御の高速制御が可能なピエゾアクチュエータ搭載のコントロールバルブ。

SUS-316LブロックとAuシールにより、腐食性ガスの流量調節が可能。

CV-3000

特長

オプション

使用例

圧力コントロールバルブ

チャンバ圧を一定圧力にする事は多くの実験や製造工程で求められます。圧力計とPIDコントローラ、CV-3000を組み合わせる事で圧力機器として制御が可能です。

仕様表

温度最小差圧最大差圧最大流量シール応答時間
0~50℃50kPa300kPa10SLMAu0.5sec以下

※仕様表は一般仕様のコントロールバルブです。 はオプションにより変更可能です。

カタログダウンロード

CV-3000 Series.pdf

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