Lintecのガス流量制御・測定製品

マスフローコントローラ

特長型式通信規格
電源
温度
応答速度
精度
用途
キーワード
MC-7000高速 MFCMC-7000DeviceNet
EtherCAT
DC24V電源
5~50℃
0.2秒
±1.0%S.P.
半導体
成膜
ALD
MC-5000CEtherCAT MFCMC-5000CEtherCAT
DC24V電源
5~50℃
1秒
±1.0%S.P.
半導体
成膜
ALD
MC-5000LDeviceNet MFCMC-5000LDeviceNet
DC24V電源
5~50℃
1秒
±1.0%S.P.
半導体
成膜
ALD
MC-3000L高精度デジタルMFCMC-3000LRS-485
アナログ0~5V
±15V電源
5~50℃
1秒
±1.0%S.P.
半導体
成膜
分析装置
MC-3000L TC 高温MFCMC-3000L-TCRS-485
アナログ0~5V
±15V電源
Max120℃
1秒
±1.0%F.S.
半導体
成膜
液化ガス
分析装置
MC-3000S低差圧MFCMC-3000SRS-485
アナログ0~5V
±15V電源
5~50℃
1秒
±1.0%F.S.
半導体
成膜
液化ガス
固体昇華
MC-700バリアブルMFCMC-700RS-485
アナログ0~5V
±15V電源
15~35℃
1秒
±1.0%F.S.
半導体
成膜
分析装置
MC-10低価格MFCMC-10RS-485(オプション)
アナログ0~5V
±15V電源
15~35℃
1秒
±1.0%F.S.
不活性ガス
分析装置
マスフローコントローラ製品一覧

マスフローメーター

特長型式通信規格
電源
温度
精度
用途
キーワード
高精度マスフローメーター高精度デジタルMFMMM-3000LRS-485
アナログ0~5V
±15V電源
5~50℃
±1.0%S.P.
半導体
成膜
分析装置
高温マスフローメータ―高温MFMMM-3000L-TNRS-485
アナログ0~5V
±15V電源
Max120℃
±1.0%F.S.
半導体
成膜
液化ガス
分析装置

コントロールバルブ

特長型式電源温度
応答速度
用途
キーワード
コントロールバルブコントロールバルブCV-3000L0~5V0~50℃
0.5秒
一次圧制御
背圧制御
バブリング