マスフローコントローラー原理概要
マスフローコントローラーの流量制御原理は、熱容量を利用した質量流量測定原理と、流量制御バルブのPID制御により開度調整し、ガス流量を自動制御するのがマスフローコントローラーが基本原理です。
コンバージョンファクター
マスフローコントローラーは半導体ガス等、様々な種類のガス流量制御をします。異なるガス種では比熱が変化する為、コンバージョンファクターを考慮する事で高精度な流量制御が可能になります。
ガスマスフローコントローラー特長【リンテック】
リンテックのマスフローコントローラーは半導体製造技術の様々な要望に応えてきました。高精度の流量制御、液化ガスや高温の流量制御、微小流量制御など確かな技術と実績で流体制御専門メーカとして半導体業界のみならず、化学分析、医療を支えます。
- 独自の流量センサにより、長寿命
- 豊富なオプションで様々な流量制御条件で使用可能
- 直接触れない流量センサ構造とメタルシールで、特殊ガスの流量制御が可能
高性能デジタルマスフローコントローラー
汎用マスフローコントローラー
マスフローメーター
マスフローコントローラー技術応用製品
特長：高速応答、メタルシール
オプション：液化ガス、低差圧
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