マスフローコントローラー原理概要

マスフローコントローラーの流量制御原理は、熱容量を利用した質量流量測定原理と、流量制御バルブのPID制御により開度調整し、ガス流量を自動制御するのがマスフローコントローラーが基本原理です。

コンバージョンファクター

マスフローコントローラーは半導体ガス等、様々な種類のガス流量制御をします。異なるガス種では比熱が変化する為、コンバージョンファクターを考慮する事で高精度な流量制御が可能になります。

ガスマスフローコントローラー特長【リンテック】

リンテックのマスフローコントローラーは半導体製造技術の様々な要望に応えてきました。高精度の流量制御、液化ガスや高温の流量制御、微小流量制御など確かな技術と実績で流体制御専門メーカとして半導体業界のみならず、化学分析、医療を支えます。

  • 独自の流量センサにより、長寿命
  • 豊富なオプションで様々な流量制御条件で使用可能
  • 直接触れない流量センサ構造とメタルシールで、特殊ガスの流量制御が可能

高性能デジタルマスフローコントローラー

高性能マスフローコントローラー

高性能マスフローコントローラ

特長:高精度、高速応答、RS-485、5~50℃、メタルシール

オプション:液化ガス、微小流量F.S.、ワイドレンジ

高温用マスフローコントローラー

高温マスフローコントローラ

特長:高温120℃、RS-485、メタルシール

オプション:液化ガス

低差圧マスフローコントローラー

低差圧マスフローコントローラ

特長:低差圧、5~50℃、RS-485、メタルシール

EtherCATマスフローコントローラー

EtherCATマスフローコントローラ

特長:高精度、高速応答、EtherCAT、5~50℃、メタルシール

オプション:液化ガス

DeviceNetマスフローコントローラー

DeviceNetマスフローコントローラ

特長:高精度、高速応答、DeviceNet、5~50℃、メタルシール

オプション:液化ガス

高速応答マスフローコントローラ

特長:超高速応答、高精度、DeviceNet、EtherCAT、5~50℃

汎用マスフローコントローラー

バリアブルマスフローコントローラー

バリアブルマスフローコントローラ

特長:高速応答、VR機能、RS-485、メタルシール

オプション:RS-232

低価格マスフローコントローラー

低価格マスフローコントローラ

特長:低価格

オプション:VR機能、RS-485

マスフローメーター

高性能マスフローメーター

高性能マスフローメーター

特長:高精度、高速応答、RS-485、5~50℃、メタルシール

高温マスフローメーター

高温マスフローメーター

特長:高温120℃、RS-485、メタルシール

マスフローコントローラー技術応用製品

ピエゾコントロールバルブ

ピエゾコントロール

特長:高速応答、メタルシール

オプション:液化ガス、低差圧

お気軽にお問い合わせください。077-536-2210受付時間 9:00-17:30 [ 土・日・祝日除く ]

お問い合わせ