MFCとの設定電圧、出力電圧等の電圧状態の確認が行えるマスフローコントローラ専用の動作チェック機器です。

また、低消費電力の電圧計が内蔵されており、装置からの信号、MFCから装置への信号が正常かどうか、モニタすることができ、動作不良時の原因追及が容易となります。

        IM-10

接続例

マスフローコントローラと装置電源との間に接続、またはマスフローコントローラと電源表示設定器(RP-310)との間に本器を接続し、各種信号、電圧の計測、確認を行います。

計測機能

・電源電圧(±15VDC)

・流量設定電圧(0-5VDC)

・流量出力電圧(0-5VDC)

・バルブ開閉電圧(±15VDC)

・シェル電圧

カタログダウンロード

IM-10.pdf