二流体ノズルと気化室下部のブローアップガスにより、液相での気化室壁面との接触を低減した気化器。

高効率の気化を実現する二流体ノズルと、気化室下部からのブローアップガスにより、気化室側面に接触を低減。これにより、熱変質を抑える事を実現。熱に対して不安定な物質でも安定的に気化供給が可能。

気化容積の大きさはVU-920、VU-912、VU-914の3段階。気化流量に合わせて気化器選定が可能。

軽接触気化
VU-900

使用例

熱変質性液体の気化

ブローアップガスにより気化室内に滞留する気化ガスを押し出します。また、気化室壁面に衝突する前にブローアップガスと合流する為、温度変化の大きな気化室壁面との接触を軽減することが出来ます。熱変質による生成物を発生が懸念される有機金属や重合が懸念されるシラン系材料の液体の気化供給に最適です。

仕様表

型式最高温度最大H2O気化流量シール
VU-912N300℃5g/minAu
VU-912N200℃7g/minAu、カルレッツ

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