液体ノズルとキャリアガスノズルの二流体ノズルによる高効率気化器。

液体ノズルとキャリアガスノズル(0.05~4SLM)の二流体ノズルが気化室直前で合流し液体を微細に噴霧。微細化された液体は、輻射熱により高効率の液体気化が可能。

気化室上部に液体制御用バルブが液体マスフローメータ(LM-3000L)の流量信号を受けバルブ開度を調節。流量を制御する事で安定的な気化供給が可能。

高効率気化器VU-430

特長

使用例

低蒸気圧材料の気化

二流体ノズル
二流体ノズル

最高温度200℃の耐熱構造と二流体ノズルによりLow-K,High-k、各種メタルなど、低蒸気圧材料でも高効率で安定的な液体気化供給を実現。ヒータブロックの温調を側面と底面に分ける事で、精密な温度制御が可能。熱変性しやすい材料にも繊細な温度管理が可能。

仕様表

最高温度キャリアガス流量最大H2O気化流量最大TEOS気化流量シール
200℃0.05~4SLM1.0g/min10g/minAu

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