キャリガスを必要としないクリーンなノンキャリ気化器VU-3000。

流量制御された液体を気化室入口のメッシュフィルターに拡散。ノンキャリアでも安定的な液体気化供給。

気化器最高温度200℃まで設定可能でH2Oをはじめ様々な液体原料のノンキャリア気化供給を実現。

ノンキャリア気化VU-3000

特長

使用例

アッシング、洗浄

アッシング(酸化)などの洗浄でH2Oは一般的ですが、ノンキャリで供給するには高温用マスフローコントローラによるベーキング方式が一般的です。しかし、ベーキング方式は二次側条件(減圧)や供給量の制限があります。H20:5g/min(6.2SLM)の流量を二次圧条件に関わらずノンキャリで供給可能です。

H2Oガスによる大気圧評価

大気圧条件でも気化器に導入したH2O(液相)を瞬時に気化可能なVU-3000であれば、液体マスフローコントローラで流量制御、気化器に導入する事でH2Oガス発生量を精密に制御可能です。燃料電池など大気条件でのH2Oガスを使用する評価に使用可能です。

仕様表

最高温度必要差圧最大H2O気化流量シール
200℃250~300kPa5g/minAu,カルレッツ

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