半導体業界でTEOSの安定的な連続気化供給システムが求められた1990年代、リンテックは気化器と液体マスフローを使った直接気化方式を世界に先駆けて開発しました。

液体気化技術の基本原理

液体の気化アプローチ

物質の状態は固体、液体、気体の三態で、温度と圧力によって変化します。

  1. 温度のアプローチ:ガスMFCベーキング方式ノンキャリア気化器
  2. 温度と圧力のアプローチ:気化器直接気化方式バブリング方式
  3. 圧力のアプローチ:低差圧MFC(MC-3000S)

蒸気圧と気化濃度

ガス濃度の計算は「分圧÷全圧×100=ガス濃度(%)」です。

液化ガスの分圧は蒸気圧曲線を超える事は出来ません。

蒸気圧曲線

物質の状態は温度と圧力に依存します。温度が高いと液体が気体に変化(気化)する力(蒸気圧)は上昇し、温度が低いと蒸気圧は低下します。この温度と蒸気圧の最大量のを表した物が蒸気圧曲線です。

気化技術ご紹介

気化器直接気化方式

直接気化方式フロー例
直接気化方式

液体用マスフローメータで液相の質量を測定、後段の気化器で全量気化させる方式です。TEOSを始め、CVD工程で使われます。

ベーキング方式

ベーキングフロー例
ベーキング方式

液体を加熱し、蒸発した気体を高温ガスマスフローコントローラで制御する方式です。光ファイバの製造工程などで使われています。

バブリング方式

バブリングフロー例
バブリング方式

液体容器にキャリアガスを通すことでキャリアガスに気化ガスを溶け込ませる方式です。主にMOCVDで使われています。

液体気化原料実績

元素名称略称化学式CAS No.
AlトリメチルアルミニウムTMAAl(CH3)375-24-1
トリエチルアルミニウムTEAAl(C2H5)397-93-8
トリス(1-メトキシ-2-メチル-2-プロポキシ)アルミニウムAl(MMP)3Al[CH3OCH2C(CH3)2O]3478695-89-5
ジメチルアルミニウムハイドライドDMAHH(CH3)2Al885-37-2
トリブトキシアルミニウムASBOAl[OCH(CH3)CH2CH3]32269-22-9
BトリエチルボロンTEBB(OC2H5)3150-46-9
トリメチルボロンTMBB(OCH3)3121-43-7
トリスジメチルアミノボロンTMABB[N(CH3)2]34375-83-1
BaビスジピバロイルメタナートバリウムBa(DPM)2Ba(C11H19O2)217594-47-7
Biトリメチルビスマス
Bi(CH3)3

593-91-9
CeテトラキステトラメチルペプタンジオナートセリウムCe(DPM)4Ce(C11H19O2)418960-54-8
Cl四塩化炭素CCl456-23-5
1,1,2-トリクロロエタンC2H3Cl379-00-5
テトラクロロエチレンC2Cl4127-18-4
CoコバルトアルキルアミジネイトCo AMD
Cuビスジピバロイルメタナート銅Cu(DPM)3Cu(C11H19O2)214040-05-2
ヘキサフルオロアセチルアセトナトトリメチルビニルシリル銅Cu(hfac)(TMVS)C10H13CuF6O2 Si139566-53-3
ビスエチルジメチルデカンジオナート銅Cu(EDMDD)2Cu[(CH3)3CC(O)CHC(O)CH(C2H5)C4H9]
GaトリエチルガリウムTEG(C2H5)3Ga1115-99-7
トリメチルガリウムTMG(CH3)3Ga1445-79-0
GeテトラエトキシゲルマンGe(OC2H5)414165-55-0
テトラメトキシゲルマンC4H12GeO4992-91-6
HfテトラキスジメチルアミノハフニウムTDMAHHf[N(CH3)2]419782-68-4
テトラキスエチルメチルアミノハフニウムTEMAHHf[N(C2H5)CH3]4352535-01-4
テトラキスジエチルアミノハフニウムTDEAHHf[N(C2H5)2]419824-55-6
テトラブトキシハフニウムHTBHf(OtC4H9)42172-02-3
I五フッ化ヨウ素IF57783-66-6
InインジウムアセチルアセトナートIn(acac)3In(C5H7O2)314405-45-9
トリメチルインジウムTMI(CH3)3In3385-78-2
トリエチルインジウムTEIIn(C2H5)3923-34-2
LaテトラメチルオクタンジオンランタンLa(TMOD)3
NbペンタエトキシニオブPENNb(OCH2CH3)53236-82-6
NiニッケルアルキルアミジネイトNi AMD
PトリメチルホスフィンTMOPPO(OCH3)3512-56-1
トリエチルホスフィンTEPOPO(OC2H5)378-40-0
亜リン酸トリメチルTMPP(CH3O)3121-45-9
Pbビスジピバロイルメタナート鉛Pb(DPM)2Pb(C11H19O2)221319-43-7
ビステトラメチルヘプタンジオナート鉛Pb(thd)2
テトラメチルオクタンジオン鉛Pb(TMOD)2
PrトリスエチルシクロペンタジエニルプラセオジムPr(EtCp)3Pr(C5H4C2H5)3108-88-3
トリステトラメチルヘプタンジオナトプラセオジムPr(DPM)3Pr(C11H19O2)315492-48-5
PtトリメチルメチルシクロペンタジエニルプラチニウムC9H16Pt94442-22-5
RuビスエチルシクロペンタジエニルルテニウムRu(EtCp)2Ru(C2H5C5H4)232992-96-4
ジメチルペンタジエニルエチルシクロペンタジエニルルテニウムDERRu(C7H9)(C7H11)501652-75-1
SiテトラエトキシシランTEOSSi(OC2H5)478-10-4
四塩化珪素SiCl410026-04-7
トリクロロシランTCSSiHCl310025-78-2
テトラメトキシシランTMOSSi(OCH3)4681-84-5
ヘキサメチルジシラザンHMDSC6H19NSi2999-97-3
ヘキサメチルジシロキサンHMDSOC6H18OSi2107-46-0
ビスターシャルブチルアミノシランBTBAS[(CH3)3CNH]2SiH2186598-40-3
ジイソブチルジメトキシシランDIBDMSC10H24O2Si17980-32-4
テトラメチルシランTMSSi(CH3)475-76-3
メチルジエトキシシランDEMSC5H14O2Si2031-62-1
トリメチルシランC3H10Si993-07-7
メチルトリクロロシランCH3Cl3Si75-79-6
オクタメチルシクロテトラシロキサンOMCTS、D4C8H24O4Si4556-67-2
テトラメチルシクロテトラシロキサンTMCTSC4H16O4Si42370-88-9
トリスジメチルアミノシランTDMASSiH[N(CH3)2]315112-89-7
テトラメチルジシラザンTMDSC4H15NSi215933-59-2
トリメトキシシランC3H10O3Si2487-90-3
テトラメチルテトラビニルシクロテトラシロキサン[(CH2=CH)(CH3)SiO]42554-06-5
ジメトキシメチルビニルシランVMDSC5H12O2Si16753-62-1
ジメチルジエトキシシランDMDES(CH3)2Si(OC2H5)278-62-6
ジメチルフェニルシランDMPSC8H12Si766-77-8
メチルトリメトキシシシラン(CH3)Si(OCH3)31185-55-3
へプタデカフルオロデシルトリイソプロポキシシランC13H13F17O3Si83048-65-1
オクチルトリエトキシシランC14H32O3Si2943-75-1
Sn四塩化スズSnCl47646-78-8
テトラブチルスズ[CH3(CH2)3]4Sn1461-25-2
ジブチルスズビスアセチルアセトナートSn(C9H16O2)222673-19-4
SrビスジピバロイルメタナートストロンチウムSr(DPM)2Sr(C10H10F7O2)236885-30-0
メトキシエトキシテトラメチルヘプタンジオネートストロンチウム280572-89-6
TaペンタエトキシタンタルPETTa(OC2H5)56074-84-6
ターシャリブチルイミノトリス(エチルメチルアミノ)タンタルTBTEMTTa(NtC4H9)[N(C2H5)CH3]3511292-99-2
ターシャリブチルイミノトリスジエチルアミノタンタルTBTDETT-BuN=Ta(NEt2)3169896-41-7
ターシャリアミルイミドトリスジメチルアミノタンタルTaimataTa[NC(CH3)2C2H5][N(CH3)2]3440081-38-9
ペンタキスジメチルアミノタンタルPDMATC10H30N5Ta
Ti四塩化チタンTiCl47550-45-0
テトライソプロポキシチタンTTIPTi(i-OC3H7)4546-68-9
テトラキスジエチルアミノチタンTDEATTi[N(C2H5)2]44419-47-0
テトラキスエチルメチルアミノチタンTEMATTi[N(CH3)C2H5]4308103-54-0
テトラキスジメチルアミノチタンTDMATTi[N(CH3)2]43275-24-9
ジイソプロポキシジピバロイルメタナートチタンTi(iPrO)2(DPM)2Ti(C11H19O2)2(O-i-C3H7)2144665-26-9
テトラキスメトキシメチルプロポキシチタンTi(MMP)4
V塩化バナジウムVCl47632-51-1
テトラキスエチルメチルアミノバナジウムV(NEtMe)4
YトリスジピバロイルメタナートイットリウムY(DPM)3Y(C11H19O2)315632-39-0
Znジエチル亜鉛DEZ(C2H5)2Zn557-20-0
ビスオクタンジオナト亜鉛Zn(OD)2[CH3COCHCO(CH2)3CH3]2Zn
ZrテトラキスエチルメチルアミノジルコニウムTEMAZZr[N(CH3)CH2CH3]4175923-04-3
テトラキスジエチルアミノジルコニウムTDEAZZr[N(C2H5)2]413801-49-5
テトラターシャリブトキシジルコニウムZr(t-Obu)4Zr[OC(CH3)]42081-12-1
トリスジメチルアミノシクロペンタジエニルジルコニウム(C5H5)Zr[N(CH3)2]333271-88-4
テトラキスジメチルヘプタジオナートジルコニウムZr(dmhd)4Zr(C18H30O4)269990-43-8
テトラキステトラメチルヘプタンジオナートジルコニウムZr(DPM)4Zr(C11H19O2)418865-74-2
テトラメチルオクタンジオンジルコニウムZr(TMOD)4
テトラキスメトキシメチルプロポキシジルコニウムZr(MMP)4